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半导体实验室的净化方案

更新时间:2022-12-22      点击次数:8062

随着各类产品生产工艺技术、产品性能的不断研究开发、升级和各种使用要求,工业装修对空气洁净度及污染物的控制要求不断变化、提高,尤其是5G热潮袭来、半导体集成电路的高速发展是洁净度等级的扩大和控制微粒粒径日益严格的重要标志。

千级净化工程的应用在机械电子等行业的装修设计中较为广泛使用。千级洁净室指的是微尘数量被控制在每立方米1000个以内,同时为了防止洁净空间受外界污染,在室内压差上也有所要求,通常要求内部压力(静压)>外部压力(静压);洁净度要求高的空间压力>洁净度要求低的空间压力;洁净室门的朝向应开向洁净度级别高的房间。

千级洁净室要获得良好的洁净效果,不仅要着重采取合理的空调净化措施,而且也要求工艺、建筑及其他专业采取相应的措施:不但要有合理的设计,而且还要精心的符合规范的施工安装,以及正确的使用洁净室和科学的维护管理。

实验室净化空调方案

方案一:传统的净化空调设计方案。组合式空气处理机组里含有各种功能段,如初效过滤段、混合段、表冷段、中效过滤段、二次回风段(或中间段)加湿段、加热段、风机段等。其中冷源主要由冷水机组提供。

方案二:比较简单的洁净空调设计方案。不仅可以大大地缩小机房的面积,还可以让水冷柜机根据具体的情况布置在较小的净化车间内或机房内,同时还可以将增压风柜布置于机房内或吊在机房内或在夹层内。

方案三:主要用于对室内温湿度精度要求不高的无尘车间,是最简易的空调方案。可直接将分体空调柜机布置于车间内,并用彩钢围护起来,在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网);风机过滤单元FFU均匀布置于吊顶天花。


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